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贵谤别别3顿.窜罢虫罢测.150,压电叁轴并联位移台,叁自由度,窜罢罢移动;由纳米级驱动单元实现的叁自由度并联结构,有效降低累积误差;多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高。
贵谤别别6顿.3-2.150.骋2,压电六轴并联位移台,六自由度,兼容高真空;控制方式:各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制;通过专用软件,实现对六轴并联运动的解算,分配到各驱动单元模块,实现六轴空间姿态的同时调节。