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PRODUCT详细介绍
压电·六轴并联 Free6D.3-2.150.G2
? 多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高
• 由纳米级驱动单元实现的六自由度并联结构，有效降低累积误差；
• 多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高；
• 平动行程：X, Y, Z ±9 mm, ±9 mm, ±5 mm；
• 角摆行程：ΘX, ΘY, ΘZ ±10 °, ±10 °, ±20 °；
• 最小步伐：0.1 μm/5 μrad；
• 可提供真空环境规格；
• 控制器：根据用户输?的位移指令，实现对位移台六轴空间姿态的运动调节
• 控制方式：各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制；通过专用软件，实现对六轴并联运动的解算，分配到各驱动单元模块，实现六轴空间姿态的同时调节；
• 控制软件：提供笔颁端使用软件，支持濒补产惫颈别飞，串口命令集控制
压电六轴并联位移台，六自由度，兼容高真空&尘诲补蝉丑;&尘诲补蝉丑;详细参数：
压电六轴并联位移台，六自由度，兼容高真空——尺寸图：
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