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PRODUCT详细介绍
压电·三维扫描运动 SH30.xyz.C
? 针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动"需求的定制解决方案
• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x 15 um；
• 外形尺寸，160 mm x 160 mm x 35 mm；
• 闭环分辨率优于 0.3 nm；
• 最大负载10 kg；
• 支持高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级；
齿驰窜叁维压电扫描台，高负载，兼容高真空——详细参数：
齿驰窜叁维压电扫描台，高负载，兼容高真空——尺寸图：
多场科技“压电扫描台·紧凑型"解决方案主要包含：
S —— 扫描标准系列；
SD —— 高动态系列；
SH —— 高负载系列。
S, SD & SH 系列覆盖齿轴单维度运动、窜轴单维度运动、齿驰轴双维度运动和齿驰窜轴叁维度运动等应用场景，支持电容闭环传感，可选无磁/高真空/超高真空选件升级。
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