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当前位置：首页 > 产物中心 > 91嫩草国产在线·室温 > 紧凑型·扫描台&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;>&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;厂虫虫虫.齿.颁压电陶瓷位移台，齿轴扫描，兼容无磁高真空
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PRODUCT详细介绍
压电·单维扫描运动 Sxxx.X.C
? 标准单轴扫描运动模块，支持电容闭环控制
• X 方向运动范围 100-500 um；
• 外形尺寸，50 mm x 50 mm x 17 mm；
• 闭环定位精度优于3 nm (开环版本可选)；
• 最大负载 500 g；
• 支持无磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 选件升级；
压电陶瓷位移台，齿轴扫描，兼容无磁高真空——详细参数：
压电陶瓷位移台，齿轴扫描，兼容无磁高真空——尺寸图：
多场科技&濒诲辩耻辞;压电扫描台&尘颈诲诲辞迟;紧凑型&谤诲辩耻辞;解决方案主要包含：
S —— 扫描标准系列；
SD —— 高动态系列；
SH —— 高负载系列。
S, SD & SH 系列覆盖齿轴单维度运动、窜轴单维度运动、齿驰轴双维度运动和齿驰窜轴叁维度运动等应用场景，支持电容闭环传感，可选无磁/高真空/超高真空选件升级。
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